迎接半導體與電子業新紀元 海德漢解決方案大幅提升精度與效能

因應半導體前端製程中的晶粒微小化、封裝製程晶片堆疊複雜化與PCB板上的更高元件密度等，帶動了電子半導體業高速發展，以及在量測與運動平台更高精度、性能的需求。海德漢公司在近期推出的MULTI-DOF量測技術與VULCANO2運動平台，為客戶提供了一個在打造完美極致運動系統上獨特且卓越的解決方案，既滿足客戶對於提升精密運動控制的嚴苛要求，也有助於增加生產效率及穩定性。

圖一 : 海德漢公司在今年SEMICON攤位上(K2870)推薦的MULTI-DOF量測技術與VULCANO2運動平台，強調能為客戶提供解決方案，既滿足客戶對於提升精密運動控制的嚴苛要求，也有助於增加生產效率及穩定性。

其中VULCANO2為一款具有創新設計概念，並搭載知名ETEL鐵心式馬達與高階光學尺的龍門堆疊式多軸運動系統，能滿足客戶精密運動控制的高要求，尤其適用於晶圓檢測製程中微影堆疊量測、關鍵尺寸量測、薄膜量測及後段大尺寸覆晶製程等應用。

該平台不僅佔地面積更少，同時允許2.5g高加減速度、最高速度達1.2m/s；雙向重複精度±250nm、奈米級定位穩定性±2nm；且其負載可達80kg，在動態特性、幾何與運動性能方面均有顯著提升；符合ISO2級無塵室規範，搭配QuiET主動式制振平台，更可大幅增強運動性能。基於海德漢「讓設備開發者更容易切入高階半導體應用」的設計核心理念，可在性能上滿足來自不同市場及對高動態性能的要求；優異的結構設計，使之於降低總持有成本方面出類拔萃。
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