台積公司完成「高鐵振動對積體電路製造影響分析」

陳水扁總統25日上午再度蒞臨台灣積體電路製造股份有限公司台南廠區參觀。台積公司由張忠謀董事長、曾繁城副總執行長親自接待，並向陳總統說明未來幾年內該公司在國內的數千億元投資擴廠計畫。

台積公司張忠謀董事長首先在歡迎總統蒞臨時指出，台灣是非常適合發展半導體製造產業的地方，只要政府及民間企業共同努力，目前的優勢可以不斷維持下去。台積公司過去十餘年來在國內的投資主要以「竹科」為主，而「南科」則是將來繼續發展最重要的基地。台積在南科的第一座晶圓廠(晶圓6廠)早已於八十八年一月即開始量產，正當第二座晶圓廠(晶圓14廠)的廠房也在興建中時，由於「高鐵振動」問題需要進一步釐清，而使得整個興建工程因而暫停。所幸日前剛出爐的評估結果證實，只要有妥善的工程技術支援，未來高鐵振動對該公司積體電路生產將不致造成影響。因此，張董事長明確表示，晶圓14廠立即復工，台積公司在南科的投資建廠計畫也一定會繼續進行。

其後，並由曾繁城副總執行長簡報台積公司新近完成的「高鐵振動對積體電路製造影響分析」研究報告，同時說明該公司未來的投資計畫。曾副總執行長說，興建晶圓廠所需要投入的資金非常龐大，以目前最先進的12吋晶圓廠為例，建一座廠大約需要新台幣一千億元。因此，台積公司一直是以最嚴肅的心情來正視「高鐵振動」這個問題，務期能完全掌握狀況，並對是否繼續在南科建廠做出正確的決定。在過去半年當中，該公司集合了內部製程、設備、廠務等各方面的專家，搭配地質及營建方面的專業顧問及設備製造商的菁英，共同組成了一個前所未有的專案小組，在台灣高鐵公司的充分合作下，順利完成了全球半導體業界第一個特別針對「微振動」問題所做的全面性研究。透過縝密詳盡的資料蒐集、實地測試、以及分析研究，不但確認在妥善的工程技術之下，未來高鐵行經南科附近時所帶來的振動對該公司積體電路生產不致造成影響。更重要的，台積公司也因此正確掌握了各種微振動模式與積體電路生產的相關因素，並且發展出因應這些不同振動模式的設備及廠房設施規範，對於未來日益精密的積體電路生產及更新廠房的規劃與興建，都將有非常正面的幫助。
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