根據Bloomberg指出，荷蘭微影設備供應商ASML表示，今年下半年產業景氣將比上半年較佳，而且ASML目前仍未出貨的訂單數量，比起去年年底時要多35％，因此該公司認為半導體景氣應該已出現復甦的訊號。

ASML指出，今年上半年已出貨78台晶圓廠用設備，預計下半年將出貨100台，全年總計有178台的銷售量，雖然比不上2001年所售出的197台成績，但是依照今年市場發展趨勢，下半年將是個契機。到6月底為止，ASML已接到160台的訂單，共計15.7億歐元。

今年四月，ASML利用0.18微米設計數據，成功地把晶圓上製成採用對角互連方式的測試用結構，進一步推動了IC對角互連。今年5月Intel（英特爾）向ASML訂購超紫外線(EUV)微影設備。ASML測試版EUV設備將於2005年出貨，正式版於2006年出貨。同年5月ASML宣布，接獲亞洲某一家晶圓代工廠2億歐元（1.83億美元）的訂單，同時也強調半導體產業景氣有回復的跡象。