工研院机械所19日宣布,再与金敏精研公司合作,共同投入2亿元发展「砷化??晶圆生产线」,将前瞻的奈米加工技术,应用在热门的通讯器材市场上。
工研院机械所继86年移转「硬脆基板延性加工技术」给金敏公司,应用於8寸及12寸再生晶圆的量产,并成功的提供国内IC大厂使用,成为继日本之後,亚洲第二个将奈米加工技术商品化的国家。今年双方再次结盟,协助金敏公司设置「砷化??晶圆生产线」。
金敏精研委托机械所规划的「砷化??晶圆生产线」,已於3月20日正式签约,预定投资2亿元设立一条月产能2万片的砷化??晶圆生产线,2002年3月正式量产4寸及6寸砷化??晶圆。
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