imec采用EUV微影技术 展示固态奈米孔首次晶圆级制造

於今年IEEE国际电子会议（IEDM），imec展示运用极紫外光（EUV）微影技术首次成功完成的固态奈米孔晶圆级制造。固态奈米孔作为分子感测应用的有力工具，正在逐渐兴起，但还未进行商业化。这项概念验证是迈向其经济高效（大规模）生产的关键一步。

图一 : imec采用EUV微影技术，展示固态奈米孔首次晶圆级制造

固态奈米孔是蚀刻到氮化矽（SiN）薄膜内的微小孔洞只有数奈米宽。当这些孔洞浸入流体，并连接到电极时，能够让个别分子通过、产生可即时分析的电讯号。因为孔洞大小可以轻松调整，奈米孔提供广泛的应用，从病毒监定到DNA和蛋白质分析。这种无标记的单分子侦测方法是新一代诊断、蛋白质体学、基因体学，甚至是分子资料储存应用的关键。

另一方面，由蛋白质在脂透膜形成的生物奈米孔已经实现商用定序平台，但受限於稳定性及整合的挑战。固态奈米孔透过防护与可调能力，还有与半导体制造的相容性，克服这些限制，成为可调式高通量感测应用的理想方案。然而，要在大面积范围内让固态孔洞达到奈米级精确度和均匀度仍是挑战。目前的制造技术通常速度慢，还受限於实验室，延误其在感测应用的广泛采用。
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