CyberOptics晶片映射感测器上市

CyberOptics Semiconductor, Inc. 12日宣布其体积更小的高效能晶片映射感测器上市，该产品适合空间有限或希??感测器的占用空间较小的应用场合。与标准EX-Q一样，EX-43QS和EX-73QS感测器采用了反射雷射技术，最隹化了感测器的光学平面几何，完全消除了FOUP，暗盒或其他晶片出现杂散反射的可能性。

这些感测器可以迅速和可靠地检测到任何类型的晶片，不论晶片的直径、边缘形状、厚度或表面涂层如何。它们采用经过微调以获得最大敏感性的雷射发射器和接收器，在出厂增益设定时的暗晶片检测能力突出，并与任何尺寸（包括 300 mm）的平坦或齿形晶片相容。EX-QS采用一个极薄的(0.05 mm)雷射条带结合多个光圈和空间过滤来降低噪音和确保在一个增益设定时稳定地检测薄的和交叉开槽的晶片。

这些感测器对来自映射环境的干扰不敏感，因为它们所采用的专利性双重宽光束技术和内建的保护滤光片可最大限度地减少杂散反射和荧光的影响。EX-QS 感测器不包含运动部件，因而消除了被微粒沾染的任何可能性；且由於采用了反射技术，该感测器属於一种无干扰装置，减少了晶片在映射过程中被损坏的几率。
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