CTIMES- 前進22奈米諾發、IBM、CNSE成立策略合作聯盟

諾發系統近日宣佈，該公司與東菲什克爾的IBM、紐約奧爾巴尼的紐約大學奈米科學與工程學院（CNSE），日前於CNSE的Albany奈米科技中心共同成立策略合作聯盟，將致力於發展22奈米以及更小世代的半導體製程技術的解決方案。

先進的45奈米和32奈米的半導體電路已進入量產，28奈米及更小世代的產品則正在進行開發。每進入一個更小的世代，就能促成體積更小、速度更快，並兼具更高效能的晶片，同時，也直接提高了產品的性能。受惠的對象則涵括伺服器至智慧型手機。

這個技術聯盟成立後的第一個專案，將發展使用於28奈米和22奈米製程的無殘留物先進光阻剝除技術。光阻剝除是半導體晶片佈線的關鍵技術，此次合作的範圍將包含一系列光阻剝除製程，包括高劑量植入光阻剝除製程相容於高介電金屬閘極的技術，以及對極低介電係數材料無損傷的化學蝕刻技術之發展。
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