異軍突起的MEMS運動感測器

前言

微機電（MEMS）曾經是高深而新鮮的技術新名詞，然而，當商業化的瓶頸逐步被克服後，近來MEMS已被廣泛應用在一些電子設備當中，而且能為產品帶來嶄新的功能。任天堂的Wii遊戲機是一個最好的例子，透過MEMS運動感測器（3軸加速度計）對動作的感測能力，將遊戲的玩法帶入全新的領域，也炒熱市場對MEMS的興趣。

何謂MEMS？它是一項結合電子與機械的微小化工程技術，也就是應用半導體製程技術來製作各種微小的精密機械元件，而且能進一步與今日的光電系統整合，以提供精微的感測或控制能力。早在Wii出現前，MEMS元件就已在多個市場中大行其道，其中最著名的是例子是在印表機的噴墨頭中，已普遍使用微流體元件；另一個成功的例子則是微面鏡數位光處理（Digital Light Processing；DLP）元件，目前被廣泛用於投影顯示器當中。
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