根據市調機構Gartner Dataquest的最新調查報告指出,2002年全球晶圓廠設備市場規模從2001年的236.6億美元減為162億美元,出現31.5%的衰退。以地區市場來看,歐洲與日本市場的衰退幅度最大;晶圓設備市場龍頭則由美商應用材料(Applied Materials)奪得。
該報告指出,各領域市場在2002年受景氣復甦緩慢之拖累,電化沉積(ElectroChemical Deposition;ECD)及低密度電漿沈積(Plasma Deposition),衰退11.2%與8.1%;但新興技術如原子層沉積(Atomic Layer Deposition;ALD)及矽鍺磊晶,則各有53.2%與55%的成長幅度。
以區域市場來看,歐洲市場退步最多,在2002年大幅衰退46%,此外日本亦出現近45%的衰退,美洲市場則有29%的衰退幅度。整體亞洲市場在大陸市場之成長帶動下,僅下滑12.8%,韓國滑落27%,台灣則下滑10%。在地區廠商部分,日系與美系設備廠商各衰退41.5%與30.4%,歐系廠商則有4.8%的成長幅度。
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