Cascade Microtech晶圓探針系統獲半導體大廠青睞

先進電子度量系統及探針卡生產領導廠商Cascade Microtech，6日宣布其Pureline晶圓探針系統已獲得美國、亞洲、日本及歐洲等5家全球前20大半導體製造商採購。甫於2005年四月上市的Pureline晶圓探針系統，讓半導體製造商在因應今日嚴格的應用要求時，能對最新一代積體電路(IC)進行模型化、特性分析及測試，這些應用包含先進邏輯及記憶體元件、對雜訊敏感的無線RFIC，以及有極端溫度特性的車裝IC。

相較於以往，新一代先進IC的電路部件更趨小型化與密集化，並且工作於相當低的電流及電壓位準，如此，要進行精確測試卻不產生外部干擾已變得越來越困難，這些部件對於從無線元件所散發出來的射頻干擾(RFI)、及從設施和實驗室設備所傳導出的低頻率電磁干擾(EMI)、及前代IC較少關注的溫度變化，均具有極度敏感性，為使這些新元件能更適當地運作，雜訊、功率散失以及工作電壓均需降至最低，而在Pureline問世以前，並無有效的方式可針對這些新的嚴苛要求測試這些新的ICs。

Pureline晶圓探針系統提供滿足新一代元件所需求的測試能力Cascade Microtech的Pureline產品線，包含提供元件特性分析及模型化、晶圓層級可靠度及提升良率之卓越的低位準、on-wafer量測能力之工具，Pureline系統之主要整合功能，包括用以降低EMI、RFI干擾的MicroChamber晶圓屏蔽包覆、用以降低雜散電容和雜訊的AttoGuard主動保護、用以抑制雜訊注入的低雜訊三軸熱基座、以及用以提升寬頻傳輸旁通的低阻抗接地端。Pureline是為了提供可免除電子背景傳輸的量測而設計，其能在越趨敏感的半導體元件中，達到精確的低位準量測。
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