諾發系統宣告售出第1000台化學氣相沉積系統

諾發系統日前宣佈，已賣出第1000台化學氣相沉積系統給新加坡GLOBALFOUNDRIES Fab 7， GLOBALFOUNDRIES為半導體製造技術之供應者，近期並與Chartered Semiconductor Manufacturing進行整合，Fab 7亦會將12吋VECTOR Express應用於65奈米及更先進技術的大量生產。

VECTOR系統最初於西元2000年7月引進，是可沉積各種介電層應用的量產機台。 在前段製程中， VECTOR應用於沉積閘極spacer與襯層、應變矽之高應力薄膜、非結晶碳與抗反射層、硬質遮蔽膜及蝕刻終止層；後段製程應用則包括於inter-metal與inter-layer之介電層、銅擴散阻障層、低介電常數覆蓋層與最終保護層。而近期， VECTOR則被採用於新的介電層應用，如：超低介電常數(ULK)薄膜與TSV封裝技術之介電層。

諾發系統表示，VECTOR之所以在半導體製造市場被廣泛接受的主因，來自於產品的高生產率、低裝設與營運成本，設備體積小、高晶片與晶片間的再現能力與極佳的100奈米以下缺陷能力。在Fab 7中，諾發系統VECTOR平台被使用於65奈米及先進45/40奈米技術節點之前後段製程的介電層應用，GLOBALFOUNDRIES Fab 7營運長Peter Benyon亦表示，Fab 7期盼與諾發繼續於開發有成本效益，及先進技術解決方案層面的合作關係，以持續協助我們的客戶快速將創新的設計導入市場。