TI：長期穩定效能對RH溼度感測器更為重要

相對濕度(RH)感測器是一種具開放式共振腔的特殊感測器，用於測量空氣中的水蒸氣含量。相對濕度是一項重要的測量指標，由於儲存環境中的溼度對易腐爛物質有直接影響，因此空氣中的濕度會對系統可靠性 (腐蝕) 或產品壽命也有直接影響。

圖一 : 具長期漂移的溼度感測器

德州儀器Phillip Luu指出，RH感測器面臨到的挑戰之一是其暴露在外的感測元件會隨時間老化。長期暴露在潮濕的空氣和易揮發的有機化合物中，例如沉積在感測器上的苯或乙二醇，會造成感測器準確度偏移規格。如此一來系統就必須因進行感測器更換或校驗而停止作業，進而增加總成本。

濕度感測器中最重視的規格為長期漂移與準確性。對目前的溼度感測器，特別是電容式感測器來說，準確度標準範圍為 2% 至 3% RH 和最大 3% 至 4% RH。在感測器實際投入現場使用前，這樣的準確度稱為時間零點準確度，且不含遲滯與長期飄移。磁滯現象是一種記憶影響偏移，是基於所有濕度傳感器材料特性原有的百分比 RH 值。
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