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SK hynix與ASML完成首台High-NA EUV系統組裝
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2025年09月08日 星期一

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南韓SK hynix 與荷蘭設備大廠 ASML已成功完成首台「商用 High-NA EUV」系統的組裝作業。這項技術被譽為未來半導體製程的重要基石,代表記憶體產業正邁向新一輪技術革新。

這套設備的核心亮點,在於其數值孔徑(NA)達到 0.55,遠高於現有 EUV 系統普遍使用的 0.33 NA。隨著 NA 的提升,光刻機能夠更精細地描繪晶體結構,使得晶體管尺寸縮小約 1.7 倍,電晶體密度提升近 3 倍。換言之,High-NA EUV 可以一次性完成解析度相當於 8 奈米線寬的圖案化工作,減少傳統需要多重曝光的複雜步驟,進而提升產能與良率。

對 SK hynix 而言,此舉不僅是技術升級,更是鞏固市場競爭力的戰略布局。隨著人工智能(AI)、高效能運算(HPC)與高頻寬記憶體(HBM)需求急遽上升,如何在單位面積上實現更高的記憶體容量與效能,成為記憶體廠商面臨的首要挑戰。導入 High-NA EUV 技術,將使 SK hynix 在未來 DRAM 原型設計與新材料導入上更具優勢,也為 2030 年代的先進製程鋪平道路。

ASML這次與 SK hynix 的合作也具有指標意義。過去業界普遍預期,High-NA EUV 的導入將由邏輯晶片廠商如 Intel 或台積電率先採用,但如今 SK hynix ?先一步,不僅凸顯記憶體製程的緊迫需求,也將帶動其他廠商加快腳步。隨著三星、Micron 等競爭對手必然加速追趕,全球記憶體市場的競爭格局將因此更加激烈。

然而,High-NA EUV 也伴隨不容忽視的挑戰。單台設備成本高達數億美元,生產線需要大幅調整才能相容,對企業的資本支出形成巨大壓力。同時,技術初期的良率與量產穩定性仍需時間驗證。對此,SK hynix 強調,這一步是長期投資策略的一部分,將與 ASML 深化合作,持續優化設備效能並拓展應用場景。

業界分析指出,High-NA EUV 的落地不僅是技術升級,更象徵著半導體設備市場正進入新一輪的「門檻抬升期」。能否承受高昂投資並有效轉化為商用價值,將決定哪些廠商能在下一代記憶體與先進製程中脫穎而出。隨著全球對 AI 與高效能運算需求的爆發,這場由 SK hynix 與 ASML 打響的技術前哨戰,勢必將重塑未來半導體產業版圖。

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