帳號:
密碼:
CTIMES/SmartAuto / 產品 /   
EV GROUP推出全新多功能微米及奈米壓印解決方案
 

【CTIMES/SmartAuto 陳玨報導】   2022年01月19日 星期三

瀏覽人次:【3808】
  

晶圓接合暨微影技術設備供應商EV Group(EVG)推出EVG7300自動化SmartNIL奈米壓印與晶圓級光學系統。EVG7300是EVG最先進的解決方案,可在單一平台上結合如奈米壓印微影技術(NIL)、透鏡壓鑄與透鏡堆疊(UV接合)等多重基於UV架構的製程。這套多功能系統旨在滿足涉及各種微型和奈米圖案以及功能層堆疊等嶄新應用的先進研發與生產需求,包括晶圓級光學(WLO)、光學感測器與投影機、汽車照明、擴增實境頭戴式裝置使用的波導管、生物醫療設備、超穎透鏡(meta-lens)與超穎介面(meta-surface),以及光電學。EVG7300支援大至300毫米的晶圓尺寸,並具備高精度對準功能、先進製程控制與高製程產出量,滿足各種自由形式及高精度奈米和微型光學元件與設備的量產需求。

EVG 7300 SmartNIL奈米壓印與晶圓級光學系統,可在單一平台上結合奈米壓印微影技術、透鏡壓鑄與透鏡堆疊等多重基於UV架構的製程。
EVG 7300 SmartNIL奈米壓印與晶圓級光學系統,可在單一平台上結合奈米壓印微影技術、透鏡壓鑄與透鏡堆疊等多重基於UV架構的製程。

EV Group企業技術總監Thomas Glinsner博士表示:「EV Group憑藉累積超過20年的奈米壓印技術經驗,持續作為引領此關鍵領域的技術先驅,開發各種創新的解決方案,以滿足客戶不斷變化的需求。我們最新推出的奈米壓印解決方案系列產品EVG7300,將SmartNIL全域壓印技術及透鏡壓鑄和透鏡堆疊結合成一套頂尖的系統,具備市場上最精確的對準與製程參數控制,為我們客戶的產業研究與生產需求提供前所未有的彈性。」

EVG7300既可作為獨立工具,也可當作一個模組整合在EVG的HERCULESR NIL之中,作為UV-奈米壓印微影(UV-NIL)的全整合解決方案,其中還可增加如清洗、光阻塗層,以及烘烤或後處理等額外的預處理步驟,以最佳化特定製程的需求。這套系統透過結合對準階段的改善、高精度光學元件、多點間隙控制、非接觸式間隙量測與多點力控制,具可高達300奈米的對準精度。

EVG7300是具高度彈性的平台,提供三種不同的製程模式,包含透鏡壓鑄、透鏡堆疊與SmartNIL奈米壓印,並支援150毫米到300毫米晶圓的基板尺寸。模板與晶圓的快速裝載、快速對準的光學元件、高功率固化以及極小的工具佔用空間,能夠滿足業界對嶄新WLO產品的製造需求。

EVG現已開始接受各界對EVG7300自動化SmartNIL奈米壓印與晶圓級光學系統的訂單,並在位於公司總部的NILPhotonics Competence技術中心提供產品展示。

更多相關資訊,請瀏覽:https://www.evgroup.com/products/nanoimprint-lithography/uv-nil-smartnil/evg-7300/

關鍵字: 奈米壓印  UV架構  EV GROUP 
相關產品
EV Group步進重複奈米壓印微影系統突破生產微縮化
EV Group推出HERCULES NIL Track System加速奈米壓印微影技術導入高量產階段
相關討論
  相關新品
Arduino Motor Shield
原廠/品牌:RS
供應商:RS
產品類別:PC Board
mbed
原廠/品牌:RS
供應商:RS
產品類別:PC Board
Arduino
原廠/品牌:RS
供應商:RS
產品類別:PC Board
  相關新聞
» 聯邦快遞攜手Aurora擴大自動駕駛貨運實驗計畫
» 如何擺脫缺料危機?他們以精準備料突破工業電腦困境
» [COMPUTEX] Silicon Labs實現物聯網人工智慧邊緣應用
» Artilux參展COMPUTEX 2022 首發全系列光學技術產品
» [COMPUTEX] 英飛凌大規模實體參展 秀全系列智慧物聯應用方案
  相關文章
» 透過新方法為訊號鏈系統建立電源解決方案
» 下一個自動化時代的新網宇實體系統影響
» 斷鏈疑慮浮升 俄烏戰火引爆產業供應瓶頸
» 當eFPGA遇上邊緣AI的顛覆式創新法
» 認識風險屏障:功能性安全如何有助於確保安全
  相關資源
» Power Management Solutions for Altera FPGAs

AD

刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2022 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3
地址:台北市中山北路三段29號11樓 / 電話 (02)2585-5526 / E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw