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Epson与Manz合作研发半导体数位制程设备

精工爱普生(Epson)与 Manz 展开策略性合作,携手推动印刷电子在半导体产业中的创新应用,实现半导体金属化制程中的高效生产与可扩展的解决方案。此次合作结合了 Epson 的喷墨印刷技术,以及 Manz 在高精密设备制造与智慧软体开发方面的专业,为半导体制造业注入全新动能。合作涵盖实验室验证设备与高效率量产解决方案的开发,并於台湾桃园设立全新研发中心,为全球市场提供创新制造技术,协助客户推进下一代印刷电子应用。


图一 : Epson与Manz合作研发半导体数位制程设备
图一 : Epson与Manz合作研发半导体数位制程设备

本次合作,Epson 以 PrecisionCore 精点微喷喷头印刷技术将功能性材料精准涂布在如聚??亚涞(Polyimide / PI)、环氧树脂薄膜(Ajinomoto Build-up Film / ABF)、固态模封材料(Epoxy Molding Compound / EMC)、矽晶圆(Silicon Wafers)与玻璃等基板上,省去光罩制程,直接形成精密电路结构。这项技术大幅简化了金属化制程的复杂度,相较於传统制程,能显着提升材料使用效率、环境永续性、制程良率与生产弹性。


双方携手开发的工业级喷墨印刷设备更支援 3D 列印,能制造低温金属结构,突破传统金属熔点限制,拓展半导体封装材料的应用范围。因应产业朝向方形基板发展,这套设备也支援玻璃通孔(Through Glass Via / TGV)金属化与面板级封装(Panel-level Packaging)重布线层(Redistribution Layer / RDL)布线,进一步提升制程效率与产品可靠度。
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