1965年Intel創始人Moore提出「隨著晶片電路複雜度提升，晶片數目必將增加，每一晶片成本將每年減少一半」的規律之後，半導體微細化製程技術日新月異，結構體尺寸從微米推向深次微米，進而邁入奈米時代。半導體製程微細化趨勢也改變了產業的成本結構，10年前IC設計產業投入線路設計與光罩製程的費用，僅佔總體成本的13％，半導體生產製造成本約佔87％。自2003年進入深次微米製程後，IC線路設計及光罩成本便大幅提升到62％。
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