半導體薄膜沉積市場復甦

綜合外電消息，整體薄膜沉積市場正如預期般復甦中，特別是新興市場ALD（Atomic Layer Deposition；原子層沉積）最為顯著。

根據Information Network指出，由於去年半導體產業景氣低迷，連帶使整體薄膜沉積設備市場僅達到34億美元，整整衰退了46.1％，預計今年將有4％的成長率，整體市場可望成展至36億美元。

據New Tripolibased research firm報告指出，ALD將是2002年半導體設備用於薄膜沉積市場中，最具成長力的領域，預計將有高達67.3％的成長率，市場總值8200萬美元。同時該外電表示，ALD去年成長188.2％及4900萬美元，其中半導體設備商ASM表現優異，擁有51％的市場佔有率。

至於其它方面的薄膜沉積市場，2001年CVD（Chemical vapor deposition；化學氣相沉積）即跌了46.4％，PVD（Physical vapor depostion；物理氣相沉積）也降了56.5％。半導體設備大廠Applied（應用材料）在這方面即具有重要影響力，在PVD有83%市場佔有率，metal CVD有48％市佔率，dielectric CVD則有58％。其它相關的重要廠商還有Novellus、Tokyo Electron、Ulvac、ASM、Kokusai、SVG、Genus。