全球精密工程与科学技术领导品牌 Renishaw 将於9月10日至12日叁加SEMICON Taiwan国际半导体展，於南港展览馆二馆四楼 S7458 摊位磅??登场。本次以「Precision at every stage of semiconductor innovation」为核心主张，重点呈现三大精密量测技术：聚焦高阶设备应用的「多自由度 (MDOF)」运动控制编码器、能同时检测「六个自由度 (6DOF)」的雷射校正系统，以及用於半导体材料分析的光谱仪，提供客制化量测解决方案，协助半导体制程迈向更高的精度与良率。

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任何设备或运动系统在设计与实际运作之间都可能产生自由度误差。因此，如何高效率的量测并校正这些误差 - 尤其对於要求高精度的半导体设备更是关系到制程能否有效提升的关键。

为此，Renishaw针对此挑战提供一系列具关键优势的量测技术，包括：

运动控制编码器

Renishaw 一系列运动控制编码器应用广泛，精准定位，稳健可靠，为高效制程奠定基础。在要求日益严苛的半导体制造中，高精度运动控制已成为制程稳定性的关键要素。有监於此，Renishaw 正式推出全新 1.5D 光学尺系统，成为展中的一大亮点。该系统具备多自由度量测能力，能精准反??高精密平台移动过程中所产生的动态误差，进而有效掌握整体精度表现，适合不断推陈出新的半导体设备。此外，Renishaw 多款光学尺系列产品也早已为半导体产业所采用，例如 VIONiC 高性能光学尺就获设备大厂 ASMPT 应用在其不同阶段的後段制程设备上。

设备校正系统

为维持半导体设备长期稳定运作，定期的误差校正与精度维护已成为不可或缺的环节。XM-60 多光束校正仪可同时量测线性轴六个自由度的误差，仅需一次撷取，即可完成该轴所有几何误差的量测，是一套功能强大、可协助打造高度可靠制程设备的诊断工具。而 XL-80 雷射干涉仪则以极高稳定性与精度闻名，可针对半导体关键设备、精密平台等进行检测和校正，以确保设备在运作过程中的准确性和稳定性。

拉曼光谱仪

当生产出半导体後，便可以使用 Renishaw 拉曼光谱仪作为半导体的检测工具。拉曼技术可有效地对多样化的半导体、高分子材料和超导体进行表徵与成像分析。其分析过程简单直接，无需样品制备，也不依赖真空环境操作，避免了使用电子显微镜常见的电荷积聚问题。本次展出的 Virsa 拉曼光谱仪是一款可携式全自动拉曼系统，支援快速分析材料组成、晶体结构、残留应力等微观性质。拉曼光谱仪广泛应用於半导体材料研发、生产监控与良率分析，是非破坏性分析的理想选择。

值得一提的是，本次展览期间，Renishaw 英国总部拉曼光谱专家 Jerome Innocent 将於 9 月 11 日下午 14:20 於 SEMICON TechXPOT 创新技术发表会现场演讲，深入剖析拉曼光谱於半导体材料应用的最新趋势，提供业界第一手技术解析。

诚挚邀请您於 SEMICON Taiwan 期间莅临Renishaw摊位，与我们一同探索尖端半导体技术的创新应用！

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