在当今半导体产业的奈米级别发展下，後段制程设备面临着精度、生产力和稳定性等挑战。光学尺作为运动控制中至关重要的元件之一，需要不断更新技术并推出新产品，以满足市场的严苛要求。

ASMPT新加坡总部，图二为Renishaw光学尺系列

总部位於新加坡的 ASMPT 致力开发先进的半导体组装和封装设备，与 Renishaw合作已经超过 25 年，在光学尺产品应用、客制化方案和设备检测方案等领域累积丰富的合作经验；光学尺作为运动控制系统中的重要元件，规格必需不断升级以满足 ASMPT 因应市场的需求。

在选择光学尺产品时，必须要考虑几个关键要素：速度、抖动、光学尺体积，与安全和规性。为了满足这些要求，光学尺厂商需要不断研发创新，以提高速度、降低抖动、减小体积和重量，并确保产品符合相关的安全标准和验证要求。而 ASMPT 多年来采用多款 Renishaw 光学尺产品，从 RGH 到 RESOLUTE 系列，再到近期的 ATOM DX 微型系列和 VIONiC 高性能系列等，应用在不同阶段的後段制程设备上，包括 INFINITE 12 英寸晶片键合机，专为一般 IC 封装而设计。

除了光学尺外，ASMPT 亦使用 Renishaw XL-80 雷射干涉仪和 XM-60 多光束校正仪等校正设备，在设备生产和定期预防性维护方面发挥着重要作用。例如，他们使用XL-80 雷射干涉仪进行检测和校正，以确保设备在运作过程中的准确性和稳定性。此外，Renishaw XM-60 多光束校正仪具可以同时量测六个自由度的误差，且只需进行一次设定。都有助於了解每台加工设备的精度等级和加工能力，确保设备的正确运作和生产效率。

ASMPT 研发部总裁蔡秉刚博士表示，可以预见光学尺的规格要求将会朝着高速度、高解析度和低讯号抖动的趋势发展，对於控制器和光学尺来说都是一大挑战，而 ASMPT从来没有怀疑过 Renishaw 的实力，相信其能继续提供合适的光学尺产品。

为了延续与 ASMPT 长期合作的成功经验，让更多业界夥伴深入了解精密量测技术於半导体产业的应用，Renishaw 将於 9 月 10 日至 12 日叁加 SEMICON Taiwan 国际半导体展，诚挚邀请业界先进莅临展位，共同探索如何透过创新量测技术，迈向更高的制程精度与良率。

展览讯息

· 展览名称：SEMICON Taiwan 国际半导体展

· 展览时间：9月10 日(三) -12日(五)

· 展览时间：9月10 -11日, 10:00-17:00；9月12日, 10:00-16:00

· 展览地点：台北南港展览馆1馆 & 2馆 (台北市南港区经贸二路1号)

· 展出位置：【Renishaw】南港展览馆二馆四楼 S7458 摊位

· 展出重点：涵盖 ASMPT 所采用的运动控制光学尺与设备校正系统，并特别展出应用於材料分析的拉曼光谱仪。