综合外电消息，整体薄膜沉积市场正如预期般复苏中，特别是新兴市场ALD（Atomic Layer Deposition；原子层沉积）最为显著。

根据Information Network指出，由于去年半导体产业景气低迷，连带使整体薄膜沉积设备市场仅达到34亿美元，整整衰退了46.1％，预计今年将有4％的成长率，整体市场可望成展至36亿美元。

据New Tripolibased research firm报告指出，ALD将是2002年半导体设备用于薄膜沉积市场中，最具成长力的领域，预计将有高达67.3％的成长率，市场总值8200万美元。同时该外电表示，ALD去年成长188.2％及4900万美元，其中半导体设备商ASM表现优异，拥有51％的市场占有率。

至于其它方面的薄膜沉积市场，2001年CVD（Chemical vapor deposition；化学气相沉积）即跌了46.4％，PVD（Physical vapor depostion；物理气相沉积）也降了56.5％。半导体设备大厂Applied（应用材料）在这方面即具有重要影响力，在PVD有83%市场占有率，metal CVD有48％市占率，dielectric CVD则有58％。其它相关的重要厂商还有Novellus、Tokyo Electron、Ulvac、ASM、Kokusai、SVG、Genus。