帳號:
密碼:
最新動態
產業快訊
CTIMES/SmartAuto / 新聞 /
ASM和SAFC簽訂認證製造廠商與合作協定
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2009年01月16日 星期五

瀏覽人次:【2761】

ASM International N.V.和 Sigma-Aldrich子公司SAFC旗下的SAFC Hitech宣布針對進階超介電常數絕緣層(advanced Ultra High-k insulators)之特定原子層沉積(ALD)原料簽訂認證製造廠商與合作協定。 該協定提供化學原料之認證標準、特定ASM ALD 專利之授權許可,以及針對這些化學原料的行銷與進階開發合作關係。

最新開發的 「環戊二烯」(cyclopentadienyl) 材料能夠讓次世代以鍶(Strontium)和鋇( Barium )為基礎的超高介電常數絕緣層具備超過100的介電常數。相較之下,目前量產的以鋯( Zirconium) 和 鉿(Hafnium )為基礎的高介電常數絕緣層,其介電常數則低於30至40。具較高介電常數的絕緣層能夠讓裝置製造廠商為DRAM記憶體晶片生產更小的電容,和替微處理器生產更小的晶體管。

「我們看到在晶片製程當中生產與整合新材料的作法進一步推動了摩爾定律。」ASM的科技長暨研發部門總監 Ivo Raaijmakers博士表示,「像這樣的合作協定將讓我們能夠更有效率地開發新材料,並且在供應鏈上做好準備,以即時在製程當中導入超高介電常數材料。」

「SAFC Hitech和 ASM的研究團隊已經密切合作了相當長的時間,並共同致力於此等級環戊二烯材料的評估與流程開發。」 SAFC Hitech研發部門總監Peter Heys博士補充道,「這樣的合作產出了高品質ALD的原料。我們現在正努力擴大鍶與鋇超高介電常數來源前驅物的大量製造生產。現在的目標是要讓產品數量得以因應2011年與未來的預估需求、符合ITRS產品藍圖的需求,以及ASM 和SAFC Hitech 的規劃。」

關鍵字: High-k  ALD  ASM  SAFC  製程材料類 
相關新聞
ASM在台首個培訓中心落腳台南 首次引進VR訓練技術
延續摩爾定律 默克大力研發創新半導體材料
ASM研發提升45nm High-k製程1倍產量的ALD技術
ASM提出新技術解決high k與金屬柵的挑戰
Victrex APTIV薄膜獲得ASM Flexitest 2030採用
comments powered by Disqus
相關討論
  相關文章
» 高頻寬電源模組消除高壓線路紋波抑制干擾
» 電動壓縮機設計—ASPM模組
» PCIe橋接AI PC時代
» 用科技滅火:前線急救人員的生命徵象與環境監測
» 打造沉浸式體驗 XR裝置開啟空間運算大門


刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3  v3.20.2048.18.225.209.95
地址:台北數位產業園區(digiBlock Taipei) 103台北市大同區承德路三段287-2號A棟204室
電話 (02)2585-5526 #0 轉接至總機 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw