账号:
密码:
CTIMES/SmartAuto / 產品 /   
EV Group步进重复奈米压印微影系统突破生产微缩化
 

【CTIMES/SmartAuto 陳玨报导】   2021年06月10日 星期四

浏览人次:【408】
  

相较於昔日步进重复奈米压印微影(NIL)的进一步开发与生产微缩化的需求,常被受限於较大面积上精准母模的可用性。晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)推出次世代步进重复NIL系统EVG770 NT。EVG770 NT可以为扩增实境(AR)波导管、晶圆级光学技术(WLO)及先进实验室晶片元件量产使用的大面积母模加工,促成复杂的微型与奈米图案结构的精准复制来进行大面积母模加工。

EVG 770 NT步进重复奈米压印微影系统为扩增实境波导管、晶圆级光学技术与先进生物医学晶片,促成微型与奈米结构的大面积母模加工。
EVG 770 NT步进重复奈米压印微影系统为扩增实境波导管、晶圆级光学技术与先进生物医学晶片,促成微型与奈米结构的大面积母模加工。

借助EVG在NIL与步进重复母模累积数十年的经验,EVG770 NT的设计旨在成为一套让效能、生产力与制程控制性极大化的完全生产导向系统,并提供先进的叠层精准度与解析度,尺寸最高可以放大至300mm晶圆及第二代面板尺寸。因此,今後客户可以实现量产、具成本效益与高保真度的NIL图案成形。

WLO为推动NIL普及的主要市场之一,从改良智慧型手机的数位相机自动对焦,以及提升智慧型手机安全性的人脸辨识,到AR与虚拟实境(VR)头戴装置使用的3D模型与影像增强,已经为消费性行动电子产品应用带来全新体验。

步进重复NIL藉由电子束或其它技术完成单一晶片母模,并在基板上进行多次复制以打造全面积的主模板与母模,以符合成本效益的生产WLO与微流控元件使用的微结构。如此产出的步进重复母模,可以用来生产供接下来晶圆级与面板级制造使用的工作模具。

能在面积越来越大的基板上复制较大母模的能力,可以同时生产更多的产品,也可以在不用拼接的情况下,生产较大型个别产品。与钻石钻孔、雷射直写与电子束书写等传统母模加工制程相比,这种方法带来显着的良率与成本优势。由於传统母模加工制程的低产出量与高成本,导致更难以扩充到更大基板。结合步进重复制程可以促成效能最隹化的晶片使用,也能更有效地将这些高品质图案导入生产线。

EV Group企业技术总监Thomas Glinsner博士表示:「EV Group对於开发与完善我们的步进重复母模加工技术的投资已经超过十年,目的是将NIL制造的优势带到更广泛的市场与应用。这项努力的成果带来了EVG770 NT,它补足并且成功桥接自由度微光学或高保真度奈米图案成形,具成本效益的量产需求。借助这个突破性的步进重复解决方案,我们的客户现在能够打造自己的主模板,并将整个NIL制造流程导入企业内部,进而提供客户更高的弹性与更短的生产制造周转时间。」

EVG在其总部内的NILPhotonics技术中心提供工具展示与新系统的步进重复母模加工服务,此技术中心是对客户与合作夥伴开放使用的创新育成中心,可协助缩短创新的光电元件与应用之产品上市时程。EVG770 NT包含有助於制程开发与生产的多项功能,EVG770 NT现已出货给特定客户,而EVG目前也开放接受全新系统的订单。

产品功能

· 最大可以在300mm晶圆与第二代(370x470mm)面板等基板上,进行最大达80mm x 80mm的单一镜头/晶片模板的无拼接复制

· 250nm以内的对准精度与50nm以内的解析度

· 促成工作模具量产流程,避免昂贵的原始模具磨损

· 具更高能量的全新曝光光源设计,可大幅降低曝光时间

· 检测用显微镜与即时制程的相机讯号??送,可随时随地验证与监控制程结果

· 非接触的空气承轴可以让尘粒污染降至最低

· 自动化基板装载与模具更换单元,具备五个模具的储存缓冲器

· 压印力量与脱膜力量的临场控制与特性分析

· 将软体升级至EVG最新的Computer Integrated Manufacturing(CIM)框架平台,其广泛用於EVG量产制程设备上

關鍵字: 步进重复  奈米压印微影系统  微缩化  EV Group 
相关讨论
  相关新品
Arduino Motor Shield
原厂/品牌:RS
供应商:RS
產品類別:
mbed
原厂/品牌:RS
供应商:RS
產品類別:
Arduino
原厂/品牌:RS
供应商:RS
產品類別:
  相关新闻
» 联发科「智在家乡」徵件倒数 蔡明介鼓励从小地方找解方
» 中国高斯宝采用科锐SiC电晶体 提升伺服器电源效率
» 带领企业布局混合办公模式 微软从三面向着手强化企业韧性
» 研勤推出卖场防疫监控系统 整合多项监控与侦测功能
» Digi-Key获Vishay北美年度经销商及半导体年度经销商双奖
  相关文章
» 运用单对乙太网路於影片监视设施应用
» 汽车动力总成的功能与网路安全三大考量
» 突破智慧眼镜制造瓶颈及发展难题
» 长距离汇流排:推动此科技的行业要求
» 可在量产中实现良率管理的STT-MRAM磁性测试
  相关资源
» Power Management Solutions for Altera FPGAs

AD

刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2021 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3
地址:台北市中山北路三段29号11楼 / 电话 (02)2585-5526 / E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw