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SimulTest可对300mm芯片以200mm时间完成测试

【CTIMES/SmartAuto 楊青蓉报导】   2003年12月19日 星期五

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美商吉时利仪器(Keithley Instruments)推出其S600系列的最新产品S680 DC/RF半导体参数测试系统。吉时利仪器表示,全新的SimulTest平行测试软件可以在一次探针接触中对多达9个组件进行同步测量,这个软件使得新系统可以原来200mm芯片的测试时间完成对300mm的芯片进行参数量测。为了使平行程序设计更加简便,新的SMU让数字通讯变得更快捷、更灵活,同时也提升处理能力。这些SMU不仅保持了以往的超低电流和高功率的性能,还具备了与S600系列测试系统一致的测量功能。

吉时利仪器指出,强化的AdapTest软件可为芯片测试过程增加了智能因素,使得S680 DC/RF系统可以根据测试结果自动实时改变测试计划。当对适当的监控组件进行测试时,该系统独特的RF测试功能使得它可以对不同的探针执行达40GHz的同步独立DC和RF测试。该系统的300mm SECS/GEM自动化功能完全符合SEMI和GJG工厂标准。S680 DC/RF系统对软件和硬件的加强同样能够以极具成本效益的方式对现有S600系列系统升级增强,这也使得该平台在资本设备于多世代技术间的重复使用率继续在业界保持优势。

關鍵字: 美商吉时利仪器  測試系統與研發工具 
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