半導體設備業者美商暐貰科技（Aviza Technology），宣佈該公司垂直熔爐及單片晶圓原子層沉積（ALD）機台獲得台灣DRAM 業者華亞科技（Inotera Memories）的12吋晶圓廠採用，Aviza表示將全力配合華亞12吋廠的第一階段與第二階段裝機需求。

將以0.11微米溝槽式技術生產DRAM產品的華亞科技，計劃在其12吋晶圓新廠中發展 90 奈米和 70 奈米的製程技術，而Aviza的垂直熔爐系統正可以支援此類應用。華亞晶圓製造副總劉大維指出，與Aviza的合作是經過審慎評估後的結果，而Aviza產品的可靠性和製程靈活性，是受華亞青睞的關鍵。

華亞所購置的Aviza 垂直熔爐系統RVP-300plus，是該公司相關系列產品最先進並且可大量生產的垂直熔爐，並經過生產線的實際驗證，在晶片上可得到高良率水準，並支援低壓化學氣相沉積（LPCVD）等製程。特性包括大容量（16×25）的晶圓 FOUP 倉儲系統、可降低晶片卸載與冷卻步驟周期的雙載體功能，並具備高晶圓負載量、高級溫度控制（ATC）以及快速升溫與快速冷卻等優點。
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