韓國科學技術情報通信部轄下的韓國機械材料研究院(KIMM)宣布,該院成功研發出一項突破性技術,可顯著提高半導體封裝生產力,同時降低製造成本。這項研究由 KIMM 半導體製造研究中心的宋俊燁(Jun-Yeob Song)傑出研究員和李在學(Jae Hak Lee)博士領導,並與韓華精密機械、Cressem、MTI 和 NEPES 等公司合作完成。
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這項創新技術採用600毫米 x 600毫米的大型矩形面板,取代傳統的300毫米晶圓,實現了高精度和高產能。研究團隊開發了 FO-PLP 貼合和檢測設備,以及核心製程和材料技術。與現有的基於晶圓的方法相比,這些進展使生產力提高了 6.5 倍,同時顯著降低了製造成本。
該研究團隊在晶片對準方面達到了 ±5μm 的出色精度,比現有技術提高了 30% 以上,且每小時可處理超過10,000 個晶片的高速貼合設備,同時也開發了低殘留量的高耐熱材料,並搭配Cressem開發的具有 1-2μm 分辨率的高速檢測設備。
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