中國大陸半導體設備市場探微

大陸半導體設備市場

近幾年半導體中國大陸市場快速發展，加上中國大陸政府計畫性發展半導體產業，使得大陸半導體產業快速發展，市場需求不斷增加，目前大陸官方統計中國大陸半導體市場約佔全球需求量的6％，僅次於美、日與台灣。

根據CCID對中國大陸30主要積體電路企業的調查統計資料，2001年中國大陸在積體電路的總產量為44.1億顆，總銷售額98.4億人民幣。未來的兩至三年內，上海、北京、深圳等地正在興建多座晶圓廠，預估中國大陸積體電路2005年總銷售額將達400億人民幣的規模，由於中國半導體業發展快速，群聚效應不但吸引全球與台灣業者搶進、中國本土的半導體產業也快速成長。

《圖一　2001～2005年中國大陸積體電路銷售情況》 資料來源：CCID；工研院經資中心ITIS計畫（2002/09）

看好大陸未來內需市場將持續成長，加上大陸官方「十五」計劃積極發展半導體產業，全球半導體廠商也積極在大陸進行佈局，目前外商之獨資廠或合資半導體廠，量產或動工的8吋晶圓廠約為十座，包括摩托羅拉天津廠、華虹NEC廠、中芯一廠及二廠、宏力、上海先進、貝嶺、蘇州和艦及台積電松江廠，幾乎全數為晶圓代工廠，台灣IC廠投資的無錫8吋晶圓廠也已動土，可望成為大陸第十座8吋晶圓廠。

由於廠商積極投資，預計於2002至2005年間在北京、上海兩地將新增加15～20條6～8吋晶圓生產線，因此也將創造龐大的設備需求。預估在此期間廠商總投資金額將高達200億美元，其中七至八成的投資金額將運用在半導體設備的採購，金額約達140億至160億美元。根據CCID資料指出，預估2002年至2005年大陸每年半導體設備市場平均需求為40億美元，隨著大陸晶圓廠設廠或擴廠投資持續增加，2003年大陸設備市場規模約為70億美元，2010年將有機會達到100億美元；如(圖一)。

另一方面若以計畫期間進行分析，根據大陸CCID 2002年市場資料，大陸「七五」計畫期間半導體設備市場為6.7億人民幣；「八五」計畫期間進入市場成長期為95.4億人民幣；在十五計畫期間，由於中國大陸加速發展半導體產業，主要外商半導體廠也看中大陸市場的未來成長力而大量投資設廠，使得中國大陸在「十五」計畫期間之設備需求高度成長，根據CCID預估，「十五」期間中國大陸的半導體設備市場將會達到1020億人民幣。

大陸半導體設備產業之發展歷程與現況

中國大陸半導體設備產業開始於1950年代末期，以中國原電子部系統下的2個研究所，14個直屬工廠及地方國營企業?主要研究發展機構。當時其範圍曾涉及半導體積體電路設備、電子元件及機電元件設備、電子真空設備、洗淨設備、專用模具等領域；參考(表一)。

在1960至1970時期中國大陸處於歐、美國家封鎖禁運之下，中國設備研發單位先後完成1.2μm和0.7μm線寬電子束曝光機，光學圖形產生器、600kev離子注入機等設備之研發，在當時中國大陸主要以自行研發方式發展其半導體積體電路產業。1980年代後期中國大陸實行改革開放政策，中國大陸陸續引進半導體相關設備，另外國外二手設備也不斷進口至大陸市場。

1991年中國大陸開始5吋2mm生產線關鍵設備的研發，這些設備與進口設備共同配合使用，並研發部份微細加工設備，於1996年前已逐步完成。目前大陸先進的曝光微影設備與蝕刻設備皆以進口設備為主，CVD設備則屬中國大陸自主發展較快的設備，北京建中與48所研製的設備LPCVD、Cluster-CVD已能滿足6吋0.5μm晶片製造的需求，由於其價格具競爭力，因此大陸國有企業已採用其設備外，一些大陸中大型半導體廠亦開始採用。中國大陸本土設備的銷售方面，根據大陸CCID的統計資料，1999年的半導體設備業者的銷售為8,783萬人民幣，2000年達到1.7億人民幣，2001年大陸本土設備銷售成長率達60％，銷售金額為2.8億人民幣。

表一　主要設備研發機構

設備類別	生產廠家
曝光機	45所、48所、上海機械廠、國營708廠
離子植入機	國營708廠、北京儀器廠、48所
擴散爐	北京建中
CVD（PECVD、LPCVD）	48所、北京建中
濺鍍設備	國營708廠、北京儀器廠
蝕刻機	北京儀器廠、北京建中
鍍膜機 真空鍍膜 電子束鍍膜	國營708廠
切割機 切片機	45所、西安機械廠、彙盛電子機械設備公司
拋光機 研磨機	4502廠
探針測試台	45所、北京建中
點膠機	西安機械廠
流量控制器	北京建中
燒結爐	48所
塑封機	彙盛電子機械設備公司
單晶爐	西安理工大學

資料來源：CCID；工研院經資中心ITIS計畫（2002/07）

《圖二　近年中國大陸半導體設備業者銷售市場狀況》 資料來源:CCID；工研院經資中心ITIS計畫（2002/07）

不過由於近兩年國際半導體製造大廠快速進入大陸市場，並進口半導體製造設備，對照之下大陸半導體製造設備競爭力較為不足，故大陸官方已陸續擬定計畫並提撥人民幣9億元，欲藉此提昇大陸業者發展半導體製程設備之能力。

2002年中國大陸科技部宣佈將進行總投資達200億人民幣的12個重大科技專項，其中「超大規模集成電路和軟件重大專項」中包含發展大陸半導體設備計畫，而全大陸10餘家設備企業參與的曝光設備研發項目也已展開，其中上海電氣集團負責主導0.1微米技術曝光設備發展計畫，此外刻蝕設備、離子注入設備也是目前中國大陸進行重點扶植的項目，並訂定發展半導體設備產業之目標、措施與獎助鼓勵辦法如下：

• (1)以科研單位?目標，集中力量選擇少量關鍵設備予與支援。根據主要設備大廠先進製程提升技術平臺。於「十五計畫」期間力爭8英吋0.5-0.35微米水平設備開發，並期望進入量產階段。





• (2)以現有IC生產線的改造為目標，將已開發成功的0.8-1微米，6英寸設備進行改進與量產。





• (3)以發展積體電路之外的其他半導體設備?目標，開發需求量較大技術含量適中的設備，提高市場佔有率。





• (4)給予一定的優惠與產業扶持政策，例如適當的減免稅收與鼓勵外商投資等。

台灣設備廠商之大陸佈局與商機

大陸半導體產業發展為全球所關注，在國內半導體廠商逐漸西進佈局下，設備廠商隨著客戶前往設立據點，以就近提供服務，並期望待大陸高科技產業經濟規模成型後，隨著大陸本土半導體業者或台商的投資，期望掌握商機進入市場並與市場共同成長。但如果目前台灣廠商沒有進入大陸卡位，這個位置將很快的被國際競爭廠商所取代，因此目前台灣設備廠商在大陸的投資可謂購買實質選擇權，以確保廠商將來可以繼續在大陸投資獲取更大之效益。

隨著國內廠商加強國外市場佈局，出口比率有逐漸上升的趨勢，其中大陸並於去年取代東南亞成為第一大設備出口地區。由於今年國內半導體廠商加強大陸佈局，多家設備業者也準備跟進至大陸蘇州、上海等地建立服務據點，預料出口大陸金額將會持續成長。目前已至大陸設廠廠商包括如均豪、基丞等業者，前段設備廠商倍強科技由於大陸業務成長比重增加，已開始計畫在上海地區設立服務據點，濕製程廠商弘塑科技並傳出與日商安內華在上海投資，設立安內華弘塑半導體設備有限公司。沛鑫半導體總部辦公室設於竹南地區，但其製造工廠並包括大陸崑山、龍華、蘇州等地與鴻海資源共享。此外，如安德越、華東半導體、崧展、鈦昇...等廠商2001年設備出口大陸金額成長幅度也都在一成以上。

表二　國內半導體設備業者之大陸佈局

製 程	公司名稱	大陸市場發展策略
前　段	嵩展	廣東浦東辦事處
	沛鑫	工廠於深圳及大上海地區
	公準	已在中國大陸設立工廠
	弘塑	傳與安內華於上海成立安內華弘塑半導體設備有限公司
	倍強	由於大陸業務成長考慮設點中
	崇越	於上海設立據點
後　段	均豪	蘇州均強
	優力特	考慮在深圳服務據點
	基丞	廣東服務中心,上海生產製造
	鈦昇科技	上海設立服務中心
	萬潤	江蘇崑山設立銷售服務據點
	安德越	成立上海安德越

資料來源：工研院經資中心ITIS計畫（2002/08）

《圖三　國內1998～2002年半導體前後段設備業者出口大陸金額》 資料來源：中華民國海關進出口資料庫；工研院經資中心ITIS計畫（2002/10）

由於大陸市場成長快速，就工研院經資中心（IEK）對於目前投資大陸的台資半導體廠商進行訪談的結果顯示，目前大陸的半導體通路體系已正逐漸佈建中，供應體系本土廠商約佔2成以下。但由於目前大陸廠商的品質體系尚未建立，對於設備、零組件的品質管制尚未達到應有水準，大陸台資半導體廠對於設備、零組件、耗材選用排序依次為：原廠產品、台灣產品、大陸產品，近期對於台灣設備、零組件廠商市場開拓，大陸之台資半導體廠的確會帶來新的商機。

面臨二手設備強力競爭

不過就大陸目前的設備需求分析，由於當地許多發展中的半導體廠大多生產低階產品，半導體設備商在目前的大陸市場面臨二手設備交貨期短、價格便宜的強力競爭，尤其近來景氣不佳，廠商大量釋出2000年購置卻閒置之產能設備，就設備性能上來說，這些二手設備仍為目前半導體生產的主流機種之一，也符合廠商的需求，其低價更是吸引資金有限的大陸業者。因此二手設備的競爭，的確也成為國內設備業者發展上的阻力之一。

此外就行銷發展上來分析，國內廠商由於規模較小，業者在市場開拓上也遭遇不小的挑戰。大陸市場成長快速，國內設備業者發展積極，然而大陸幅員廣大，客戶遍佈大江南北，國內設備廠商普遍屬中小型規模，使設備業在大陸設廠運作與行銷成本成為廠商發展的負擔，與國際設備大廠規模比較相差懸殊，成為國內業者發展之不利因素。

結語

目前國內也有許多半導體廠至大陸設立服務據點，不過礙於目前兩岸情勢，設備廠商無法由台灣據點直接為對岸客戶進行有效快速的服務，因此業者若要佈局大陸市場，一定要設立完整的服務與技術支援體系，必須付出較高的管理與交通費用，也增加零組件與模具運回台灣進行組裝的成本，對於目前許多中小體系的廠商發展來說是另一個較為不利之因素。

許多設備廠商有鑒於此，朝向與當地半導體通路廠商進行合作，然而卻也發現當地通路廠商良莠不齊。收款是大陸一直以來的問題，是對大陸半導體廠或通路業者來說，或多或少都存在的現象，而過去甚至發生委託大陸通路商銷售，在國內設備業者交機後，通路商即不見蹤影，而使國內業者蒙受很大的損失。因此，廠商如何在大陸佈建技術服務體系，或慎選當地半導體通路商共同合作，成為國內設備業者經營大陸市場的重要課題。