美商吉时利仪器公司（Keithley Instruments）近日推出首款缆线解决方案（cabling solution），利用一组申请专利中的缆线即可处理I-V、C-V或是脉冲I-V讯号。这款最新的缆线套件能够加速并简化从任何先进半导体参数分析仪链接到Cascade Microtech或SUSS MicroTec探针台进行直流电流-电压（I-V）、电容-电压（C-V）和脉冲I-V测试的过程。这些配线的设计与吉时利4200-SCS半导体特性分析系统以及其他用于特性分析的测试仪器兼容。

新款高性能三轴缆线套件

新款高性能三轴缆线套件（triaxial cable kit）的设计适用于那些需要在不同量测类型之间频繁切换的特性分析应用。这款新的缆线套件无需用户重新布线，也能够消除由于布线误差导致的测量误差。新款的缆线套件有两种版本现正供应中─一种适用于Cascade Microtech探针台；而另外一种适用于SUSS MicroTec探针台。

对半导体组件进行电子特性分析，掌握制程中的步骤，需要进行各种量测，包括直流I-V、C-V和脉冲I-V量测。将这些不同类型的量测整合在一个特性分析系统中最大的挑战是─每种量测都有完全不同的布线需求。例如，进行低电流I-V量测需要用三轴线以达到夹层中能有防护（guarding）信号的功能。C-V量测通常采用四条同轴缆线并将外壳连接在一起，以控制讯号遇到的特性阻抗（characteristic impedance）。脉冲量测所需的带宽在三种量测类型中为最高，因此布线的特性阻抗必须与源阻抗（source impedance）相搭配，以防止受测组件的讯号反射至电源处。

吉时利的新款缆线套件在设计时考虑了这些不同的需求。无论用户进行任何类型的量测，都不需要更动探针控制台的布线；藉由轻易地将缆线从一组仪器链接至到另一组，使得I-V量测、C-V量测和脉冲I-V测试之间的转换更加容易，从而简化了组件特性分析的过程。此外，在探针接触晶圆的时候即可修改测试设定，从而减少了探针接触区域（pad）损坏的可能，并对三种量测类型保持相同的接点阻抗值（contact impedance）。