imec採用EUV微影技術 展示固態奈米孔首次晶圓級製造

於今年IEEE國際電子會議（IEDM），imec展示運用極紫外光（EUV）微影技術首次成功完成的固態奈米孔晶圓級製造。固態奈米孔作為分子感測應用的有力工具，正在逐漸興起，但還未進行商業化。這項概念驗證是邁向其經濟高效（大規模）生產的關鍵一步。

圖一 : imec採用EUV微影技術，展示固態奈米孔首次晶圓級製造

固態奈米孔是蝕刻到氮化矽（SiN）薄膜內的微小孔洞—只有數奈米寬。當這些孔洞浸入流體，並連接到電極時，能夠讓個別分子通過、產生可即時分析的電訊號。因為孔洞大小可以輕鬆調整，奈米孔提供廣泛的應用，從病毒鑑定到DNA和蛋白質分析。這種無標記的單分子偵測方法是新一代診斷、蛋白質體學、基因體學，甚至是分子資料儲存應用的關鍵。

另一方面，由蛋白質在脂透膜形成的生物奈米孔已經實現商用定序平台，但受限於穩定性及整合的挑戰。固態奈米孔透過防護與可調能力，還有與半導體製造的相容性，克服這些限制，成為可調式高通量感測應用的理想方案。然而，要在大面積範圍內讓固態孔洞達到奈米級精確度和均勻度仍是挑戰。目前的製造技術通常速度慢，還受限於實驗室，延誤其在感測應用的廣泛採用。
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