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联电晶圆厂毒气外泄事件的省思
 

【作者: 謝馥芸】2002年06月05日 星期三

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五月十日联电晶圆厂毒气外泄,七名员工因而被送入医院急诊室急救,一时媒体争相报导,有媒体传出疑管路阀键老旧故障,使三亚甲基磷外泄,导致员工吸入微量的毒气。姑且不论事由为何,由于联电的低调处理,加上台湾媒体没有应变此种新闻的能力,因此新闻一下子就炒完,到十一日时已无几家媒体想报导这个新闻了。


然而不可否认的是,联电晶圆厂毒气外泄事件,透露出晶圆厂潜藏的危险性,足以对员工造成严重的职业伤害。可惜社会大众绝少人知道这个问题,因为经济利益当头,晶圆厂象征台湾的经济荣景,因此公共危险、职业伤害、环保问题等次要议题可以放一边,而忽略知此事件里头所隐含的问题。


关于联电毒气外泄这个事件,可以从厂务工安及晶圆厂有毒剂处理来讨论。晶圆厂向来在有毒气体溶剂使用上,均十分的小心,甚至每年都有非常完善的员工健康检查,藉以保障员工的健康。但是晶圆厂仍然知道,技术员、技工、制程和设备工程师们的危险性并未排除,即使他们不断教育员工使用有毒溶剂之安全的重要性,还有在晶圆厂内装置毒气侦测器及防护措施等等,这些员工仍处于极高危险性的工作环境里,所以小小的技术员(等于工厂女工)薪水永远比坐办公室的行政人员高,只因为他们愿意投入这个不定时炸弹里。


园区厂商真的是十分尽心尽力的教导员工预防灾害的知识,比方离子布植用到的As无色无味,一般人遇到都不知怎么死的;HF酸会蚀骨,碰到身体某部位时一定得大量冲水;炉管区TEOS等的毒性等等,这些都是晶圆厂教育员工的基本常识,以避免员工受到重挫。


既然厂商有教育员工基本常识,莫非许多晶圆厂之职业伤害,都是员工自找的?这就不一定啰!事实上晶圆厂除了怕毒气外泄,还怕火灾、地震、打雷等不可抗力因素,有时打个雷就跳电,火灾一发生就整个制程区都完蛋。除此之外,就算没有天灾人祸,本身这样的工作场所,其潜在后遗症难论断,试想一个人一天工作十二小时(依晶圆厂四班二轮制来算),有十个钟头以上都必需在生产设备旁,而这个设备只要开开关关,不经意地溢出一些气体,这个人长期在这样的环境下,难保没有所谓的后遗症。可是关于这点却是厂商与员工所无法预期,每个人都只能任由大环境来摆布。


重新省视联电毒外泄问题,其导致员工严重中毒,要不就是机台严重故障造成的,要不就是人为疏失,再不就是工安设备出问题,反正都是意外之事,才使员工受重伤。机器故障有警示灯对外发出讯号,人为疏失引起的设备问题也能实时警觉,至于工安上若有毒气外泄或火警发生,厂内也有毒气侦测器及火警报器立即反应,所以估且让我们大胆推测,若这些警报器失灵时怎么办?晶圆厂也许有更多重的防护措失,可是人却禁不起一次重创;若延伸到我们生活的外在环境,更是承受不起一次环境破坏;因此如何在现实利益与高风险之危险性之间做诀择,已是众人不可回避的课题了。


事实上,针对此事件,联电一定会理赔这些员工,可是眼见同事受伤的员工们心理压力一定很大,毕竟每月月薪才二万块钱,要不是联电股票值钱,福利也很诱人,不然如此卖命,心理还真难平衡。不过读者也晓得,拿股票的好处是景气时大家赚钱,坏处却是不景气时大家都没钱,所以在目前不景气的情况下,加上去年又遭裁员,员工们的心情一定是五味杂陈。


不过这种话题不见得吸引人,因为大家还是强调台湾的竞争优势,而忘了晶圆厂的危险性。其实政府应该多去检验那些六吋晶圆厂(包括做砷化冢等六吋厂),因为这些厂的自动化程度太低了,低到在里面工作的人,危险性比在十二吋厂来得高。六吋厂的人可能还是用开瓶的方式帮设备灌酸,或者是在炉管区用手直接上下货,如此看来,他们直接接触晶圆及有机溶剂的机率实在太高了,高到令人怀疑这些地方的安全性。如此说来,国科会里的某个位于交通大学的半导体制程研究之实验室,就是一个最不安全的小型晶圆厂,因为它的经费有限,所以只能买园区里最老旧的设备,安全设施也不见得比一般晶圆厂好,这样的环境供学生及研究人员做实验,实在令人冒冷汗。


当然晶圆厂一定会反驳说它们的自我安全检查是非常健全的,但是眼见联电八吋厂都出现问题了,甚至被媒体传管路阀键老旧,倘若管线真的老旧,那六吋厂的管路阀键会比较安全吗?在此建议政府相关单位应该制订严格的检验程序,尤其是超过十年以上的晶圆厂,更需要做严密的把关,使晶圆厂的安全系统做到滴水不漏;将安全防范圈扩大到晶圆厂内外,确实定义一切关于人的安全性的观念、范畴,也是当勿之急的事。甚至于晶圆厂毒气排放是如何管理,也是该关心的重点之一,因为据了解目前毒气排放是无法可管,大多晶圆厂的毒气如何处理不得而知,而晶圆厂的先进制程里包含有连政府相关单位都不认识的气体,其中有哪些气体含有剧毒、如何处理及排放至何处等,全是外界难以得知的讯息,所以毒气外泄问题已不小,毒气排放更不能视之为小事啊!


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