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响应半导体碳足迹计画 联华气体制程排碳量达业界最低
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2021年06月10日 星期四

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响应全球零碳排,联华气体宣布,其氢气制程的排碳量已达到业界最低,是台湾最先进、最环保的氢气制造商。

氢气是备受瞩目的未来环保能源,也最常用于为电子加工过程中提供还原性环境,特别是在高温过程中。此外,氢气还可作为载气应用于化学掺杂等薄膜制备或改性工艺,对于半导体晶圆制造商更是关键材料之一。

早在 1978 年,联华气体即在台中大肚厂建立了全国第一套「水电解」制氢设备,进行实际生产。惟在生产过程中,联华气体发现,水电解制氢必须消耗大量电力,并不符合 环保精神,因此随即转为采用蒸汽甲烷重整(Steam Methane Reforming,简称 SMR)制程,生产高纯度氢气。

联华气体表示,其 SMR 制程,堪称目前全台湾最环保、最节能的氢气制程。其中的重要关键,即是「碳捕捉及储存(Carbon Capture and Storage, 简称 CCS)」技术。联华气体以 SMR 制程生产氢气,在生产过程中,能捕捉高达 97%~99%以上的二氧化碳,经过压缩冷凝处理,加以储存。

联华气体指出,在全台湾的 SMR 氢气制程,每天可以捕捉约 60 公吨二氧化碳,压缩及冷凝后转为二氧化碳产品,再次循环利用,相当于每天 6 公顷林地的固碳量。

如果将台电供电的排碳量纳入计算,联华气体采用 SMR 制程生产氢气及 CCS,每生产一立方公尺的氢气,由台电所产生的二氧化碳有 0.8 公斤。相对的,采用「水电解」制氢,

由于耗电量极高,每生产一立方公尺的氢气,由台电所产生的二氧化碳高达 2.5 公斤。

联华气体詹资深顾问表示,目前台湾的再生能源发电比例仅有 5.8%,而台湾现采用水电解制氢的业者,电力来源仍是以化石燃料发电厂为主。因此,水电解制 氢实际透过台电供电的排碳量,是联华气体 SMR 制程中使用台电供电的 3.1 倍,并未达到减碳的目的。

關鍵字: 联华气体 
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