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良率低落元凶?四大表面形貌量测手法 如何选?
 

【作者: 張廷安】2025年07月07日 星期一

浏览人次:【3399】

选错量测分析手法,可能让你产品良率下滑、制程误判、重工延挎,甚至导致整批报废。随着AI晶片、CoWoS、HPC等先进制程快速推进,每个关键工序都依赖高精度的表面形貌量测。问题是,不同样品适用的分析手法差很大,你真的选对了吗?


随着AI晶片、高效能运算(HPC)、CoWoS等先进封装技术蓬勃发展,对制程控制与量测精度的要求也愈加严格。从晶圆制造、蚀刻、镀膜,到晶粒封装与模组整合,每一道工序都仰赖表面形貌量测技术,协助掌握品质异常与制程稳定度。


什麽是「表面形貌量测」?简单来说,就是测量样品表面的微观高低起伏、粗糙度、曲率、平整度等几何特性。这些数据有助於了解材料或制程是否稳定、是否有异常,进而影响後续良率与产品可靠度。
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