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CSR采用明导DFM解决方案 带动快速制程移植
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2009年04月20日 星期一

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明导国际宣布,具备蓝芽、FM、GPS与Wi-Fi(IEEE802.11 a,b,g,n)功能的个人无线技术供货商Cambridge Silicon Radio Limited(以下简称「CSR」)在运用自家全新奈米设计流程上,以采用Calibre DFM平台上的先进Design-for-Manufacturing(DFM)方法,实现了验证有效的65nm硅芯片。CSR将全套Calibre DFM解决方案应用到最新产品上,因之成功实现65nm的投产。CSR计划将采同样的DFM解决方案以期加速转移到更先进的RFCMOS制程节点。

明导国际表示,CSR采用全套Calibre DFM解决方案,包含使用Calibre LFD工具检查曝光显影制程,运用Calibre YieldAnalyzer执行关键区域分析(critical area analysis,CAA),利用Calibre CMPAnalyzer与Calibre YieldEnhancer进行CMP分析与智能型金属填充,还有运用Calibre nmDRC搭配Equation-based DRC执行关键特性分析(CFA)。

这些产品全数拥有CSR特选晶圆厂台积电(TSMC)设计套件的支持。CSR运用这些工具找出对制程变异敏感的实体设计区域,然后修改以消除这种敏感,因之能够在整个制程中提升设计的强健性。唯有更强健的设计可以帮助确保硅芯片一次成功,使制程上意外的可能性降到最低,进而更快速投入量产。

關鍵字: DFM løsninger  CSR  明導 
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