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Nikon再告ASML　專利權戰爭不斷 (2002.10.15)
專利權爭端不斷，根據日本日經社報導指出，日本微影設備供應商Nikon再度控告荷蘭微影設備供應商ASML，控告ASML侵犯Nikon於日本、南韓的多項專利權，包括ASML的步進照像機（Stepper）及掃描機（Scanner），因此要求ASML停止於日本、南韓的侵權行為，並且必需賠償Nikon損失


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