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討論新聞主題﹕KLA-Tencor推出全新FlashScanTM產品線

新聞 提要
KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩檢測產品線，自從1978年公司推出第一台檢測系統以來，KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應商，新的FlashScan產品線宣告公司進入專用空白光罩的檢驗市場。 光罩坯件製造商需要針對空白光罩的檢測系統，用於制程開發和批量生產過程中的缺陷檢測，此外，光罩製造商（“掩模廠”）為了進行光罩原料檢測，設備監控和進程控製也需要購買該檢測系統。 FlashScan系統可以檢查針對光學或極紫外（EUV）微影的空白光罩。 “先進的微影技術從表徵良好的空白光罩開始。”KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測部總經理熊亞霖博士指出，“無缺陷的EUV光罩坯件極難製造，這不僅推高了生產成本，也推延了EUV光刻可能帶給下一代晶片製造的惠益

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