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精密仪器中心成功开发奈米制程微流量校正系统 (2003.01.28)
精密仪器发展中心近日宣布成功开发出奈米制程微流量校正系统，可精确校正各式真空仪器及微小气体流量计所使用的标准检校仪器，应用范围相当广。国科会精密仪器发展中心表示，美国半导体气体传输系统制造厂Wolfe En-gineering总裁John Wolfe曾表示，这套系统可解决下一世代微小流量控制仪器的校正问题，有意愿与之合作


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