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讨论文章主题﹕非铜金属半镶嵌制程 实现窄间距双层结构互连

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imec展示全球首次实验示范采用18nm导线间距的双金属层半镶嵌模组，强调窄间距自对准通孔的重要性，同时分析并公开该模组的关键性能叁数，包含通孔与导线的电阻与可靠度。

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