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因特网的引领与规范 - ISOC

ISOC的全名是Internet SOCiety意即为因特网社团,是一个非营利的网络技术研发机构,由全球182个国家的150个组织与11,000名个别会员所组而成,其作用在于引领因特网的导向与制定因特网的规范。
KLA-Tencor以全新量测系统扩充5D图案控制解决方案 (2015.03.05)
为了因应先进集成电路制程挑战,KLA-Tencor近期推出两款量测设备,可支持16奈米(含)以下尺寸集成电路组件的研发和生产:Archer 500LCM和SpectraFilm LD10。Archer 500LCM overlay量测设备在提升良率的所有阶段提供了准确的overlay error回馈,可协助芯片制造商解决与patterning创新技术,例如multi-patterning和 spacer pitch splitting相关的overlay问题

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