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Edwards新型nEXT85涡轮分子真空泵浦占地空间更小 (2016.10.07)
Edwards推出新型涡轮分子真空泵浦nEXT85，该泵浦是根据EXT75DX所打造的，显著地提升了性能，缩小了产品，同时也保持同等样高水准的可靠性。 新型nEXT85的转子已被经过优化，目的在提升速度和提高压缩能力，同时保持同样的可靠性并缩小体积
应用材料推出高效率的真空泵浦解决方案 (2001.08.20)
应用材料宣布推出超高工作效率的iPUP整合式使用点泵浦（integrated point-of-use pump），以支持各种制程设备的泵浦应用。相较于传统的真空泵浦，iPUP不仅可节省一半以上的电源，大幅降低晶圆厂的真空环境维持费用，同时减少新建晶圆厂的设施成本，每套设备能节省达10万美元


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