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Edwards新型nEXT85渦輪分子真空泵浦占地空間更小 (2016.10.07)
Edwards推出新型渦輪分子真空泵浦nEXT85，該泵浦是根據EXT75DX所打造的，顯著地提升了性能，縮小了產品，同時也保持同等樣高水準的可靠性。 新型nEXT85的轉子已被經過優化，目的在提升速度和提高壓縮能力，同時保持同樣的可靠性並縮小體積
應用材料推出高效率的真空泵浦解決方案 (2001.08.20)
應用材料宣佈推出超高工作效率的iPUP整合式使用點泵浦（integrated point-of-use pump），以支援各種製程設備的泵浦應用。相較於傳統的真空泵浦，iPUP不僅可節省一半以上的電源，大幅降低晶圓廠的真空環境維持費用，同時減少新建晶圓廠的設施成本，每套設備能節省達10萬美元


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