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KLA-Tencor推出探针式表面轮廓测量系统 (2008.07.17)
KLA-Tencor公司发布最新的探针式表面轮廓测量系统P-6，该系统针对光电太阳能电池制造等科学研究与生产环境，提供一组独特的先进功能组合。P-6系统具备以先进半导体轮廓仪系统开发的测量技术优势，但采用了较小、较经济的桌面型机台设计，可接受最大至150厘米的样本


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