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讨论新闻主题﹕KLA 发布全新缺陷检测与检视产品组合

新闻 提要
KLA公司今日发布392x和295x光学缺陷检测系统和eDR7380电子束缺陷检视系统。这些全新的检测系统是我们公司的旗舰图案晶圆平台的拓展，其检测速度和灵敏度均获提升，并代表了光学检测的新水准。全新电子束检视系统的创新使其自身价值进一步稳固，并成为缺陷和其来源之间的关键环节。对於先进的3D NAND、DRAM和逻辑积体电路（IC），该产品组合将在其整个产品周期内缩短其上市的时间。 「为了有利润地制造下一代记忆体和逻辑晶片，其所需的制程控制是前所未有的，」KLA国际产品部执行??总裁Ahmad Khan说。「元件结构变得更小、更窄、更高、更深，并且形状更为复杂以及新材料

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