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討論文章主題﹕動作MEMS感測器及其在汽車工業的新應用

文章 提要
前言 汽車電子是全球半導體市場中最受追捧的應用市場之一，汽車技術創新是影響汽車差異化和消費者購車的最重要因素。MEMS是汽車市場成長最快的半導體晶片，其中，加速度計、陀螺儀和壓力感測器占百分比最大。本文將重點介紹如何在新興的汽車技術領域利用MEMS晶片提高汽車智慧化，同時本文還向讀者簡要介紹MEMS技術。 MEMS概況 微機電系統（MEMS）已經發展成為應用廣泛的動作、加速度、傾斜度和振動感測器，可以偵測加速度、磁場和壓力。 IC技術只利用矽的電性質，而MEMS則利用矽的電和機械兩種性質。MEMS的核心結構不是閘－漏－源極，而是完全由矽製成的微型機械結構

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