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意法半导体为关键传感器缩小微机械加工技术制程差距 (2014.11.25)
意法半导体（STMicroelectronics, ST）宣布其独有且已通过标准认证的THELMA60表面微机械加工MEMS传感器制程进入量产阶段。 过去，半导体厂商是依靠两种不同制程来大规模生产高精密度3D MEMS产品，例如加速度计、陀螺仪、麦克风和压力传感器
意法半导体推出小型整合6轴惯性量测组件 (2014.11.19)
意法半导体（STMicroelectronics，简称ST）推出最小的6轴惯性量测组件（Inertial Measurement Unit ；IMU）。新产品通过了车规应用质量测试，拥有低噪声和高输出分辨率的特性。 ASM330LXH微型惯性量测组件是汽车仪表板内建车载导航系统解决方案的理想选择；因为车载导航系统需要准确度高、可靠性佳的惯性传感器来提升定位与定向的精准度
ST发表3轴陀螺仪 封装尺寸缩减近50% (2011.09.06)
意法半导体（ST）昨（5）日宣布进一步扩大动作传感器产品组合，推出高性能三轴模拟陀螺仪。 采用与意法半导体目前动作传感器相同的微机械加工技术及封装缩减蓝图
台湾微机电产业前景看好技术标准化是当务之急 (2002.12.11)
据中央社报导，2008年台湾微机电产业产值可达到新台币1500亿元，占全球微机电市场约8％，而在二十一世纪前景看好的微机电产业，未来将面临的挑战在于技术的模组化与标准化，以及封装测试成本的降低


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