薄膜材料已大量應用於光電、半導體及生醫等相關產業，由於薄膜之厚度極薄，因此其所展現之特性已迥異於巨觀材料所展現之特性，再者，傳統之機械性質量測方法已不再適用於量測薄膜之機械特性。

因此，此研討會將邀請國內薄膜機械性質量測專家，介紹相關薄膜機械性質之量測方法，除了著重於奈米壓痕薄膜機械性質量測技術外，亦將於會中介紹相關之薄膜機械性質量測技術，透過講師精闢之講解及現場實際示範操作，期使學員能對薄膜量測技術有更深一層之了解。